Electrostatic Accelerators for Ion Implantation for High-Power Semiconductor Devices

Das Ion Beam Center (IBC) des HZDR - Helmholtz Zentrum Dresden Rossendorf - erforscht die Ionenimplantation: Mittels Teilchenbeschleuniger werden Ionen in Materialien wie zum Beispiel Halbleiter eingebracht, um deren elektrische oder physikalische Eigenschaften zu ändern. Die elektronischen Bauelemente werden so energieeffizienter oder Schaltvorgänge werden beschleunigt. Das IBC ist weltweit führend im Umgang mit Ionenstrahlen und kann in diesem Bereich einmalige Analysen und standardisierte Services bieten. Die Gruppe optimiert kontinuierlich seine Tandem-Beschleunigeranlagen, um externen Forschenden und internationalen Industriekunden mehr Strahlzeit zur Verfügung stellen zu können.